中國杰出微電子科學家吳德馨院士逝世

　　中新社北京3月24日電 中國科學院微電子研究所24日發布訃告：中國科學院院士、中國杰出的微電子科學家吳德馨因病醫治無效，于3月23日下午在北京逝世，享年90歲。

　　吳德馨1936年12月生于河北樂亭，1961年畢業于清華大學無線電電子工程系，成為清華大學第一批半導體專業畢業生。她畢業后到中國科學院半導體研究所工作，1986年調入中國科學院微電子研究所前身中國科學院微電子中心工作。1991年當選為中國科學院院士(學部委員)。

　　吳德馨是中國半導體與集成電路研究的開拓者之一，為國家微電子事業發展作出了卓越貢獻。

　　在中國科學院半導體研究所工作期間，她作為課題負責人承擔了新中國成立初期“12年科學規劃”中的“平面型高速開關晶體管的研究”，獨立自主解決了提高開關速度的關鍵問題，開關速度達到當時國際同類產品水平。該技術打破了西方國家對中國的封鎖，為“兩彈一星”配套的“109丙”計算機提供了核心器件。

　　在中國科學院微電子中心，吳德馨成功開發出雙層多晶硅和差值氧化工藝，打破中國大規模集成電路成品率長期低下的局面，為中國集成電路工業生產奠定基礎。她領導開發出0.8微米CMOS全套工藝，科研成果和產品開發等效益不斷增加。

　　吳德馨先后榮獲國家科技進步獎二等獎、中國科學院科技進步一等獎、何梁何利基金科學與技術進步獎等。(完)